Анотація до роботи:

Скакунова О.С. Динамічні ефекти дифузного розсіяння рентгенівських променів в складних гетероструктурах. – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла. Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України, м. Київ, 2005 р.

Вперше розроблено теоретичну модель дифракції з врахуванням динамічних ефектів як когерентного, так і дифузного розсіяння в гетерогенних епітаксійних та іонно-імплантованих кристалічних структурах. Дана модель самоузгоджено враховує для кожного шару наявність в інтенсивності дифракції динамічної дифузної компоненти, а також екстинкцію когерентної компоненти за рахунок дифузного розсіяння. Вперше враховано також і динамічну взаємодію між шарами, що зведена до відповідних рекурентних співвідношень між когерентними складовими коефіцієнтів відбиття окремих шарів. В цій моделі також враховується інтерференція когерентних хвиль, що розсіюються різними шарами і підкладкою в багатошарових епітаксійних структурах. При врахуванні амплітуди розсіяння кожним неоднорідним шаром модель передбачає його розбиття на однорідні підшари.

Це дозволило вперше здійснити повну адекватну кількісну пошарову характеризацію вказаних гетероструктур з одержанням нової інформації про характеристики дефектів, ефекти сегрегації і взаємодифузії, а також уточнити хімічний склад, товщини окремих шарів, профілі деформації.