Анотація до роботи:

Красовський І.В. Шари складних сполук на поверхні Cu, GaAs та ZnSe, утворення яких індуковано жорстким ультрафіолетовим випромінюванням (100-300 нм) у атмосфері хлору. - Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла. - НТК "Інститут монокристалів" НАН України. Харків, 2003.

Дисертація присвячена дослідженню процесів фазоутворення на поверхні Cu, GaAs, ZnSe в атмосфері хлору, стимульованих впливом УФ випромінювання. Встановлено, що домінуючий механізм досліджених процесів пов’язаний з двома розділеними у часі основними процесами: взаємодією вихідних шарів монохлоридів MeCl (Me: Ga, Zn, Cu) з фотозбудженим атомарним хлором та дифузією Me⁺ з об’єму до поверхні. Встановлено наявність областей прискореної дифузії в місцях виходу границь зерен на поверхню, що обумовлено високими коефіцієнтом поверхневої дифузії хлору і надвисоким коефіцієнтом дифузії Me⁺ по границях зерен. Проведене дослідження залежності квантового виходу фотореакцій від тиску активного газу, температури підкладки, часу експозиції та енергії фотонів.

Запропоновано шляхи покращення просторової селективності фотореакцій. Встановлено, що внаслідок високої квантової ефективності та просторової селективності такі реакції можуть використовуватись як один з технологічних етапів у процесі виготовлення виробів мікроелектроніки.

Публікації автора:

1. Степаненко В.М., Добротворская М.В., Матейченко П.В., Красовский И.В. Получение микроструктур на поверхности твердых тел с помощью фотостимулированных реакций // Функциональные материалы для науки и техники.-под. ред. В.П. Семиноженко, Харьков: Институт монокристаллов.- 2001.-С.280-298.

2. Stepanenko V.M., Krasovsky I.V., Mateichenko P.V., Dobrotvorskaya M.V. Photochemical transformation on solid/ gas interface stimulated by hard UV radiation: ZnSe/Cl₂ system. // Functional Materials. – 1998. – Vol. 5, №1. – P.66-72.

3. Stepanenko V.M., Krasovsky I.V., Mateichenko P.V., Dobrotvorskaya M.V. Light-induced reactions at Cu surface in Cl₂ atmosphere. // Functional Materials. – 1999. – Vol. 6, №5. – P.926-929.

4. Dobrotvorskaya M.V., Krasovsky I.V., Mateichenko P.V., Stepanenko V.M., Tolmachev A.V. Light-induced reaction of Cu with Cl: Efficiencies above unity, excitation, amplification and diffusion processes. // Functional Materials. – 2002. – Vol. 9, №4. – P.661-681.

5. V. Stepanenko, M.Dobrotvorskaya, I.Krasovsky, et al, Photochemical etching of the ZnSe surface with chlorine, Proceedings of SPIE Conference on Inorganic Optical Materials, San Diego, USA, 1998, vol. 3424, pp82-87

6. Красовский И.В. Фотостимулированные процессы на поверхности полупроводников (ZnSe, GaAs) в атмосфере хлора // Тезисы докладов Первой региональной конференции молодых ученых “Современные проблемы материаловедения”. - Харьков –2002. – С.40