Мельник Віктор Павлович. Дослідження процесів йонно- променевого синтезу прихованих діелектричних та напівпроводникових шарів в кремнії: Дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / НАН України. - К., 1997. - 157с.