Вербицький Володимир Григорович. Фізико-технологічні основи електронно-йонних методів створення наноструктур функціональних елементів для НВІС: дисертація д-ра техн. наук: 05.27.01 / Національний технічний ун-т України "КПІ". - К., 2003.