Кляхина Наталья Афанасьевна. Формирование структуры и физических свойств нитридных пленок, полученных методами реактивного распыления на подложках Si, Ni, Ti, Ta, Mo и W : Дис... канд. физ.-мат. наук: 01.04.07 / Донецкий национальный ун-т. — Донецк, 2004. — 169л. : рис. — Библиогр.: л. 156-169.