Вербицкий Владимир Григорьевич. Физико-технологические основы электронно-йонных методов создания наноструктур функциональных элементов для СБИС : Дис... д-ра техн. наук: 05.27.01 / Государственное предприятие НИИ микроприборов Минпромполитики Украины. — К., 2003. — 265л. — Библиогр.: л. 247-259.