Анотація до роботи:

Теслюк В.М. Інформаційні технології аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем. – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня доктора технічних наук за спеціальністю 05.13.06 – інформаційні технології. – Національний університет “Львівська політехніка”. – Львів, 2008.

Наукові результати, отримані в дисертаційній роботі, вирішують науково-прикладну проблему розроблення методів та засобів для інформаційних технологій аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем на системному, схемотехнічному та компонентному рівнях. Розроблено архітектуру ІТ аналізу та синтезу МЕМС, яка використовує побудований програмно-технічний засіб для багаторівневого розроблення, грунтується на використанні базових структур і елементів та використовує розроблені інформаційні моделі і дає змогу підвищити рівень автоматизації процедур аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем. Розроблено методи для системного рівня ІТ аналізу та синтезу МЕМС, які вирішують задачі структурного та параметричного синтезу на основі побудови дерева альтернативних рішень, базових структур та елементів, набору продукційних правил та теорії кольорових мереж Петрі. Побудовано метод автоматизованого синтезу VHDL-AMS - моделей базових пристроїв МЕМС для схемотехнічного рівня на основі методу електричних аналогій, системах звичайних диференціальних рівнянь та рівняннях в частинних похідних і послідовність та кількість використаних диференціальних рівнянь визначається фізичними принципами роботи елемента МЕМС та кількістю перетворень енергії. Розроблено методи автоматизованого синтезу моделей компонентного рівня на базі рівнянь в частинних похідних з наступним їх розв’язанням з допомогою методу скінчених різниць чи скінчених елементів. Побудовані тривимірні моделі технологічних процесів виготовлення МЕМС, які дають змогу дослідити вплив технологічних параметрів на вихідні параметри інтегрального пристрою. Основні результати праці знайшли промислове впровадження при аналізі та синтезу нових типів МЕМС з покращеними технічними характеристиками.

Отримані у дисертації наукові результати у сукупності вирішують науково-прикладну проблему розроблення методів та засобів для інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС на системному, схемотехнічному та компонентному рівнях.

При цьому отримані такі основні теоретичні та практичні результати:

1. Проведено аналіз типів, структур МЕМС та їх елементів за різними критеріями: призначенням систем, призначенням мікродавачів та актюаторів, вихідним контрольованим параметром, згідно фізичних ефектів, які використовуються в процесі роботи мікродавачів, згідно параметрів, для вимірювання яких призначені мікродавачі, згідно вхідної енергії та сил, які використовуються при роботі мікроактюаторів, що дало змогу визначити базові структури та елементи для груп мікродавачів і мікроактюаторів, які відображають основні параметри цілої групи пристроїв і забезпечують зменшення потужності множини альтернативних рішень при подальшому розв’язанні процедури синтезу структури на системному рівні інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС.

2. Вдосконалено метод автоматизованого генерування множини альтернативних рішень для розв’язання задач структурного синтезу МЕМС, який використовує побудоване морфологічне І-АБО дерево альтернативних рішень для цього класу структур та набір продукційних правил і, на відміну від існуючих, забезпечує автоматичне формування обмеженої множини альтернативних рішень згідно з визначеними розробником правилами і параметрами технічного завдання;

3. Вдосконалено метод зменшення потужності множини альтернативних рішень для розв’язання задач структурного синтезу мікроелектромеханічних систем шляхом використання базових елементів та структурних схем МЕМС, набору евристичних правил, врахування особливостей технології виготовлення та розв’язання багатокритеріальних оптимізаційних задач.

4. Вперше розроблено метод автоматизованого синтезу функціональних моделей МЕМС, що базується на теорії часових і кольорових мереж Петрі з пріоритетами та забезпечує єдиний підхід до побудови моделей, які дають змогу визначити вихідні параметри об’єкта розроблення та дослідити динаміку його роботи.

5. Вперше розроблено метод автоматизованої побудови VHDL-AMS моделей базових елементів МЕМС для схемотехнічного рівня інформаційних технологій аналізу та синтезу, що грунтується на методі електричних аналогій, системах звичайних диференціальних рівнянь та рівняннях в частинних похідних і для якого послідовність та кількість використаних диференціальних рівнянь визначається фізичними принципами роботи елемента МЕМС, що дає змогу підвищити рівень автоматизації операції синтезу VHDL-AMS моделей на 20 % у порівнянні з існуючими.

6. Отримав подальший розвиток метод підвищення ефективності інформаційних технологій аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем на ієрархічних рівнях на основі розроблених алгоритмів організації операцій аналізу на кожному з ієрархічних рівнів, які дають змогу врахувати різні фізичні процеси функціонування МЕМС та використовують теорію чутливості для цілеспрямованого покращання вихідних параметрів об’єкта проектування.

7. Вдосконалено метод автоматизованої побудови моделей базових ємнісних елементів для компонентного рівня інформаційних технологій аналізу та синтезу МЕМС, який грунтується на забезпеченні єдиного підхіду до визначення ємності для елементів різного конструктивного виконання з мікронними розмірами на основі рівнянь в частинних похідних та побудованих алгоритмах і дає змогу ситезувати моделі, які забезпечують врахування нелінійних та нестаціонарних процесів, отримання вихідних параметрів з високою точністю і включають засоби контролю похибки вихідних параметрів.

8. Отримав подальший розвиток метод автоматизованої побудови моделей базових елементів пластинчастих конструкцій для компонентного рівня ІТАС МЕМС, який грунтується на теорії тонких пластин та коливних процесів і забезпечує синтез моделей, які потребують в шість разів менших обчислювальних затрат за рахунок меншої кількості вузлових рівнянь, дають змогу врахувати різне конструктивне виконання і виготовлення пружного елемента та контролювати похибку вихідних параметрів.

9. Вперше розроблено інформаційні моделі мікроелектромеханічних систем та альтернативних рішень їх структур, що грунтуються на базових структурах мікроелектромеханічних систем, використовують теорію множин, графів і двозв’язні списки для збереження даних про інтегральну структуру та дають змогу ефективно організувати операції модифікації параметрів МЕМС в процесі їх автоматизованого аналізу і синтезу та можливість зміни структурного рішення альтернативи.

10. Вперше розроблено архітектуру інформаційних технологій багаторівневого аналізу та синтезу МЕМС на основі базових елементів та структур мікросистем, яка включає такі складові: БД типових структур МЕМС, БД методів аналізу та синтезу, базу знань, БД типових елементів МЕМС, БД технологій виготовлення МЕМС, чотирирівневу бібліотеку моделей та програмно-технічні засоби для багаторівневого розроблення МЕМС, що дає змогу автоматизувати процес аналізу та синтезу мікроелектромеханічних систем.

11. Отримали подальший розвиток імітаційні тривимірні моделі технологічних операцій виготовлення (дифузії, епітаксії, іонної імплантації та іонного травлення) елементів мікроелектромеханічних систем на основі рівнянь математичної фізики з використанням числових методів, які забезпечують врахування нестаціонарних та нелінійних процесів і, на відміну від існуючих, включають засоби контролю точності вихідних параметрів та дають змогу дослідити вплив параметрів технологічного процесу (температури процесу, типу домішки, часу та ін.) на вхідні (опір матеріалу, товщина структурного шару, ефект заокруглення країв елемента тощо) і вихідні параметри елементів МЕМС.

12. Підтверджено адекватність розроблених математичних моделей елементів МЕМС, які використовують чисельні методи (МСР та МСЕ) в процесі розв’язання рівнянь в частинних похідних, і показано залежності похибки вихідних результатів від величини кроку по координаті та часу. Визначено затрати ресурсу персонального комп’ютера та дано оцінку похибки вихідних параметрів для іонної імплантації та іонного травлення при застосуванні методу Монте-Карло в залежності від кількості випробувань, що дає змогу оцінити необхідні затрати ресурсу персонального комп’ютера для досягнення необхідної точності вихідних параметрів та визначити оптимальні лінійні розміри скінченого елемента та крок сітки по координатах при забезпеченні необхідної точності вихідних параметрів математичних моделей базових пристроїв МЕМС і технологічних процесів їх виготовлення.

Публікації автора:

1. Теслюк В. М. Моделі та інформаційні технології синтезу мікроелектромеханічних систем / В. М. Теслюк // Монографія. – Львів : Вежа і Ко, 2008. – 192 с.

   Теслюк В. М. Метод для автоматизації побудови VHDL-AMS моделей елементів МЕМС на схемотехнічному рівні / В. М. Теслюк // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім.Г.Є.Пухова НАН України. – К. : 2008. – Вип. 45. – С. 118 – 123.

   Теслюк В. М. Побудова множини можливих рішеннь з допомогою І - АБО дерева при вирішенні задач структурного синтезу на системному рівні проектування МЕМС / В. М. Теслюк // Інформаційні технології і системи. – Львів, 2006. – Т. 9, № 1. – C. 101 – 108.

   Теслюк В. М. Застосування мереж Петрі при проектуванні МЕМС на системному рівні / В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2006. – № 564. – C. 45 – 53.

   Теслюк В. М. Розробка моделей та структурної схеми для автоматизованого проектування МЕМС / В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Радіотехніка та телекомунікації. – 2007. – № 595. – С. 61 – 71.

   Теслюк В. М. Методи проектування мікроелектромеханічних систем / В. М. Теслюк // АСУ и приборы автоматики : Всеукр. межвед. научно.-техн. сборник – Харьков : ХТУРЭ, 2006. – Вып. 134. – C. 82 – 89.

   Теслюк В. М. Розробка математичних моделей МЕМС на основі мереж Петрі для системного рівня автоматизованого проектування / В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк, Хамза Алі Юсеф Аль Шавабкех, Тарік (Мох’д Тайсір) Алі Аль Омарі // Моделювання та інформаційні технології. Зб. наук. пр. ІПМЕ ім. Г. Є. Пухова НАН України. – К. : 2008. – Вип. 46. – С.120 – 126.

   Teslyuk V. Model of integral electromagnetic actuator / V. Teslyuk, M. Lobur // Прикладна радіоелектроніка. – Харків, 2006. – Т. 5, № 2. – С. 284 – 288.

   Теслюк В. М. Розробка VHDL-AMS моделі для автоматизованого проектування ємнісного мікрофона за допомогою МЕМС технологій / В. М. Теслюк, Аль Омарі Тарік // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім.Г.Є.Пухова НАН України. – К. : 2007. – Вип. 44. – С.93 – 98.

   Теслюк В. М. Моделі та алгоритми для автоматизованого проектування МЕМС на функціональному рівні / В. М. Теслюк // Комп’ютерні технології друкарства. Зб. наук. пр. – Львів : УАД, 2006. – Вип. 16. – С. 222 – 230.

   11. Теслюк В. М. Розробка мови та структури даних для збереження інформації про множину альтернативних рішень при автоматизованому проектуванні МЕМС на системному рівні / В. М. Теслюк // Зб. наук. пр. ІПМЕ ім.Г.Є.Пухова НАН України. – К. : 2007. – Вип. 40. – С.37 – 43.

   12. Теслюк В. М. Методологія проектування МЕМС на системному рівні проектування / В. М. Теслюк // Комп’ютерні технології друкарства. Зб. наук. пр. – Львів: УАД, 2007. – Вип. 18. – С. 56 – 63.

   13. Теслюк В. М. Розрахунок та аналіз вихідних параметрів мікроакселерометра ємнісного типу / В. М. Теслюк, Ю. О. Кушнір, Р. В. Загарюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2007. – № 591. – C. 124 – 130.

   14. Матвійків М. Д. Аналіз доцільності побудови давачів мікроелектромеханічних систем на активних напівпровідникових елементах / М. Д. Матвійків, М. В. Лобур, В. М. Теслюк, Т. М. Матвійків // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Радіотехніка та телекомунікації. – 2006. – № 557. – С. 20 – 24.

   15. Лобур М. В. Математична модель для аналізу вихідних характеристик інтегрального давача тиску на компонентному рівні проектування / М. В. Лобур, В. М. Теслюк, К. К. Колесник // Электроника и связь : Тематичний випуск “Проблеми електроніки”, Ч.2. – Київ : НТУУ “КПИ”, 2005. – С. 109 – 111.

   16. Теслюк В. М. Автоматизована система розв’язування оптимізаційних задач при проектуванні інтегральних мікровбудованих систем / В. М. Теслюк, М. В. Лобур, П. Ю. Раєвський, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету „Львівська політехніка” : Інформаційні системи та мережі. – 2005. – № 549. – С. 174 – 183.

   17. Теслюк В. М. Математична модель магнітного інтегрального мікродавача / В. М. Теслюк, К. К. Колесник, П. Ю. Раєвський, Р. Т. Панчак // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2005. – № 548. – С. 125 – 129.

   18. Лобур М. В. Математическое моделирование исходных электрических и конструктивных параметров резонатора емкостного типа / М. В. Лобур, В. Н. Теслюк, Т. В. Свиридова, П. Ю. Денисюк, П. Ю. Раєвський П.Ю., С. Г. Мосин // Электронная техника : Межвуз. сб. науч. трудов. – Ульяновск : УлГТУ. – 2004. – С. 89 – 96.

   19. Лобур М. В. Аналіз кореляційних залежностей між механічними і електричними параметрами мікровбудованих систем / М. В. Лобур, Т. В. Свірідова, В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Радіоелектроніка та телекомунікації. – 2005. – № 534. – С. 147 – 152.

   20. Теслюк В. М. Розробка VHDL-AMS моделі ємнісного акселерометра пластинчастої конструкції / В. М. Теслюк, Р. В. Загарюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні науки та інформаційні технології. – 2007. – № 604. – С. 76 – 80.

   21. Теслюк В. М. Математична модель інтегрального ємнісного сенсора / В. М. Теслюк, М. В. Лобур, П. Ю. Раєвський, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2004. – № 522. – С. 175 – 180.

   22. Лобур М. В. Побудова бібліотеки математичних моделей для проектування елементів вбудованих систем / М. В. Лобур, В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерна інженерія та інформаційні технології. – 2005. – № 521. – С. 101 – 103.

   23. Лобур М. В. Розробка структури програмно-методичного комплексу аналізу фізичних процесів в гідро- та газодинамічних процесів / М. В. Лобур, В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк, М. Є. Перейма // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2004. – № 501. – С. 3 – 9.

   24. Теслюк В. М. Математична модель для обчислення термонапружень та переміщень в актюаторі на базі двохшарової пластини / В. М. Теслюк, М. В. Лобур, К. К. Колісник, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерна інженерія та інформаційні технології. – 2003. – № 496. – С. 94 – 99.

   25. Коваль В. О. Моделирование процессов перераспределения легирующих примесей в кремниевых структурах / В. О. Коваль, П. П. Гранат, В. Н. Теслюк // Техника, Экономика: Сер. Автоматизация проектирования. Межотрасл. научн.-техн. сб. – М. : ВИМИ, 1995. – Вып. 3 - 4. – C. 96 – 104.

   26. Теслюк В. М. Підсистема моделювання технологічних операцій ІС із використанням методу Монте-Карло / В. М. Теслюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2002. – № 444. – C. 42 – 47.

   27. Теслюк В. М. Дослідження впливу конструкції дифузійного вікна на перерозподіл домішок в напівпровідниковій структурі / В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 1999. – № 367. – С. 197 – 199.

   28. Теслюк В. М. Алгоритми для чисельного моделювання 3D дифузійних задач / В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Радіоелектроніка та телекомунікації. – 1998. – № 352. – С. 109 – 112.

   29. Теслюк В. М. Моделювання технологічних маршрутів виготовлення КМОН приладів з допомогою ППП “ПроМІС-Т” / В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерна інженерія та інформаційні технології. – 1998. – № 351. – С. 74 – 79.

   30. Теслюк В. М. Тривимірне моделювання дифузійних процесів виробництва ВІС / В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 1998. – № 327. – С. 177 – 186.

   31. Теслюк В. М. Використання високоенергетичної іонної імплантації для формування ВІС/ В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 1999. – № 373. – С. 71 - 76.

   32. Теслюк В. М. Розробка та дослідження основних характеристик генератора рівномірного закону розподілу / В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2001. – № 415. – C. 62 – 67.

   33. Теслюк В. М. Моделювання профілів розподілу домішкових іонів, вакансій та міжвузлових атомів у напівпровідниковому матеріалі при іонному легуванні / В. М. Теслюк, О. Р. Корбецький // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. – №1(5). – Запоріжжя, 2001. – С. 22 – 27.

   34. Корбецький О. Р. Комп’ютерне моделювання розподілу поверхневого опору по пластині та в “касеті” для операції “дифузії” в проточному реакторі / О. Р. Корбецький, П. П. Гранат, В. М. Теслюк // Радіоелектроніка. Інформатика. Управління. – № 2(4). – Запоріжжя, 2000. – С. 88 - 93.

   35. Гранат П. П. Алгоритмізація задачі синтезу технологічних маршрутів формування структури кристалів ІС / П. П. Гранат, А. В. Назар, В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерна інженерія та інформаційні технології. – 2000. – № 413. – С. 51 – 56.

   36. Теслюк В. М. Дослідження точності та ефективності розв’язку дифузійних задач методами скінченних різниць та скінченних елементів / В. М. Теслюк, П. П. Гранат, О. Р. Корбецький // Вісник Державного університету “Львівська політехнік” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2000. – №398. – С. 42 – 49.

   37. Назар А. В. Структуризація процесу прийняття рішень в задачах технологічного проектування ІС / А. В. Назар, В. М. Теслюк // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп'ютерна iнженерiя та iнформацiйнi технологiї. – 1999. – № 370. – С. 34 – 40.

   38. Лобур М. В. Застосування САЕ – систем для дослідження напружено – деформованого стану пружного елемента сенсора ємнісного типу та визначення його функціональних можливостей / М. В. Лобур, В. М. Теслюк, К. К. Колесник, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи та мережі. – 2004. – № 523. – С. 92 – 98.

   39. Теслюк В. М. Використання мультипроцесорної платформи при моделюванні технологічного процесу виготовлення ВІС / В. М. Теслюк, А. В. Назар // Вісник Державного університету “Львівська політехніка” : Комп'ютерна iнженерiя та iнформацiйнi технологiї. – 1999. – № 386. – С. 18 – 21.

   40. Лобур М. В. Гетерогенна система автоматизованого проектування вбудованих систем / М. В. Лобур, В. М. Теслюк, А. Б. Керницький, П. Ю. Денисюк, П. Ю. Раєвський // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Радіотехніка та телекомунікації. – 2005. – № 534. – С. 130 – 138.

   41. Теслюк В. М. Тривимірна модель іонного травлення / В. М. Теслюк // Технічні Вісті. – Львів, 2006. – № 1(22), 2(23). – C. 27 – 30.

   42. Теслюк В. М. Використання методу Монте-Карло для моделювання іонної імплантації / В. М. Теслюк // Технічні Вісті. – Львів, 2000. – №1(10), 2(11). – С. 117 – 119.

   43. Денисюк П. Ю. Математична модель базової конструкції гідравлічної мікропомпи з п’єзоелектричним приводом для компонентного рівня проектування / П. Ю. Денисюк, В. М. Теслюк, М. Є. Перейма // Вісник Національного університету „Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2005. – № 548. – С. 106 – 111.

   44. Теслюк В. М. Математична модель термоактюатора рідинного типу / В. М. Теслюк, П. Ю. Денисюк // Вісник Національного університету “Львівська політехніка” : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – 2004. – № 522. – С. 181 – 185.

   45. Lobur M. Using petri nets in MEMS design / M. Lobur, V. Teslyuk, R. Zaharyuk, V. Antonyuk // Journal Machine Dynamics Problems. – Poland, Warsaw University of Technology. – 2006. – Vol. 30, № 4. – P. 29 – 36.

   46. Teslyuk V. Computer-aided design of MEMS at system level / V. Teslyuk, Tarik Al Omari, Hamza Alshavabkekh, P. Denysyuk, M. Melnyk // Journal Machine Dynamics Problems. – Warsaw University of Technology, Poland. – 2007. – Vol. 31, № 3. – P. 92 – 104.

   47. Tesluk V. A Program for modeling of technological routes of VLSI fabrication – “ProMIC-T” / V. Tesluk, O. Korbetskyy // Modeling and Simulaion of Microsystems : Technical Proc. of the Second Inern. Conf. – Puerto Rico, USA. – 1999. – P. 99 – 101.

   48. Teslyuk V. Usage of monte-carlo method for ion implantation simulation / V. Tesluk, O. Korbetskyy // Modern Problems of Telecommunication, Computer Science and Engineers Training (TCSET’2000) : Proc. of Inter. Conf. – Lviv-Slavsko, 2000. – P. 33.

   49. Lobur M. 3-Dimensional mathematical models of technological processes of MEMD / M. Lobur, V. Teslyuk, P. Kosobutckiy // CAD in Machinery Design – Implementation and Educational Problems (CADMD’2003) : Proc. of the XI Polish-Ukrainian Conf. – Warsaw, Poland. – 2003. – P. 27 – 35.

   50. Lobur M. Thermomechanical characteristics research of actuators based on the bimetalic plates / M. Lobur, V. Teslyuk, K. Kolisnyk, M. Pereyma // Advanced Computer Systems And Networks: Design And Application (ACSN – 2003) : Proc. of the 1-st Intern. Conf. – Lviv, 2003. – P. 39 – 42.

   51. Lobur M. Mathematical modelling of electrical and design parameters of the capacitor resonator / M. Lobur, V. Teslyuk, T. Sviridova, P. Denysyuk, P. Rayeskyy // Informatics, Mathematical Modelling And Design In The Technics, Controlling And Education (IMMD’2004) : Proc. of Intern. Scientific Conf. – Vladimir, Russia, 2004. – P. 145 – 148.

   52. Теслюк В.Н. Математические модели оптимизации технологического процесса производства ИС и микровстроенных систем / В. Н. Теслюк, М. В. Лобур, A. Б. Керницкий // Вузовская наука, промышленность, международное сотруднечество : сб. науч. трудов V-ой междун. науч.-практ. конф. – Минск, БГУ, 2004. – С. 315 – 317.

   53. Teslyuk V. Mathematical model of thermoelastic element of fluid actuator / V. Teslyuk, P. Denysyuk, M. Pereyma // The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM'2005) : Proc. of the VIII-th Intern. Conf. – Lviv - Polyana, 2005. – P. 531 – 532.

   54. Teslyuk V. Mathematical model for optimization of input desing parameters of integrated electrostatic sensors / V. Teslyuk, M. Lobur, A. Kernytskyy, P. Denysyuk // CAD in Machinery Design – Inplementation and Educational Problems (CADMD’2005) : Proc. of XIII Polish-Ukrainian Conf. – Jurata, Poland, 2005. – P. 71 – 78.

   55. Denysyuk P. Mathematical model for electrostatic micropumps / P. Denysyuk, V. Teslyuk // Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH’2005) : Proc. of the 1-st Inter. Conf. – Lviv–Polyana, 2005. – P. 44 – 45.

   56. Lobur M. Desing of micromechanical filter using correlation dependencies between mechanical and electrical parameters / M. Lobur, T. Sviridova, V. Teslyuk // Mixed Design Of Integrated Circuits And Systems (MIXDES’2005) : Proc. of The 12-th Intern. Conf. – Krakov, Poland, 2005. – P. 325 – 327.

   57. Teslyuk V. System for physical processes simulation in hydraulic microelectromechanical systems / V. Teslyuk, P. Denysyuk, M. Lobur, I. Farmaga, R. Abramovych // Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH’2006) : Proc. of the 2-nd Inter. Conf. – Lviv – Polyana, 2006. – P. 138 – 142.

   58. Теслюк В. М. Система для розв’язку оптимізаційних задач при проектуванні інтегральних мікровбудованих систем OptimMEMS / В. М. Теслюк, П. П. Гранат, В. О. Марков // Інтелектуальні системи прийняття рішень та прикладні аспекти інформаційних технологій (ISDMIT’2005) : матер. міжн. наук. конф. – Євпаторія, 2005. – Т. 4. – С. 159 – 164.

   59. Teslyuk V. Sensitivity theory application in MEMS design / V. Teslyuk, M. Lobur, R. Zaharyuk, Al Omari Tarik // The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics (CADSM'2007) : Proc. of the IX-th Intern. Conf. – Lviv – Polyana, 2007. – P. 536 – 537.

   60. Лобур М. В. Схема перетворення сигналів акселерометра ємнісного типу / М. В. Лобур, Р.-А. Д. Іванців, Р. В. Загарюк, В. М. Теслюк // Системний аналіз та інформаційні технології (CAIT'2007) : матер. IX міжнар. наук.-техн. конф. – Київ, 2007. – С.158.