Шагинян Леонид Робертович. Механизмы формирования тонких пленок, получаемых методами ионно- плазменного осаждения: Дис... д-ра физ.-мат. наук: 01.04.07 / НАН Украины; Институт проблем материаловедения им. И.Н.Францевича. - К., 2001. - 292 л. - Библиогр.: л. 267-292.
|