Оксанич Анатолий Петрович. Методы и аппаратура контроля структурно-геометрического совершенства полупроводниковых материалов и структур в условиях их серийного производства: Дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Институт экономики и новых технологий. - Кременчуг, 2002. - 298л. - Библиогр.: л. 266-279.