Анотація до роботи:
Яремій І.П. Модифікація приповерхневих шарів гранатових структур шляхом одно- та двократної імплантації іонами бору. – Рукопис. Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.18 – фізика і хімія поверхні. – Прикарпатський університет імені Василя Стефаника, Івано-Франківськ, 2003. В дисертації представлені результати досліджень приповерхневих шарів гранатових структур, імплантованих іонами бору. Проведено обчислення профілів відносної зміни міжплощинної відстані для імплантованих в різних режимах монокристалів та плівок із структурою гранату на основі моделі, яка враховує, що при імплантації гранатових структур іонами бору в порушеному шарі виникають два центри розупорядкування кристалічної структури: в області максимальних ядерних (в глибині) та в області максимальних електронних (біля поверхні) енергетичних втрат. Прослідковано динаміку зміни профілів відносної зміни міжплощинної відстані в широкому дозовому та енергетичному інтервалах. Вивчено вплив двократної низькодозової іонної імплантації та порядку імплантації на кристалічну структуру монокристалів та епітаксійних плівок із структурою гранату. Досліджено вплив різниці в сталих ґратки плівки і підкладки в епітаксійних ФГП на профілі відносної зміни міжплощинної відстані. Запропоновано методику оцінки однозначності обчислення профілів відносної зміни міжплощинної відстані. |