Панкевич Ігор Миронович. Прогнозування та модифікація лазерним випрмінюванням властивостей шарів полікремнію в структурах "кремній-на-діелектрику" : Дис... канд. техн. наук: 05.27.01 / Державний ун-т "Львівська політехніка". — Львів, 1996. — 162л.