Библиотека диссертаций Украины Полная информационная поддержка
по диссертациям Украины
  Подробная информация Каталог диссертаций Авторам Отзывы
Служба поддержки




Я ищу:
Головна / Фізико-математичні науки / Фізика твердого тіла


Литвинчук Іван Васильович. Структурні зміни в пористому кремнії після іонної імплантації фосфором : Дис... канд. фіз.-мат. наук: 01.04.07 / Чернівецький національний ун-т ім. Юрія Федьковича. — Чернівці, 2004. — 143арк. : рис. — Бібліогр.: арк. 132-143.



Анотація до роботи:

Литвинчук І.В. Структурні зміни в пористому кремнії після іонної імплантації фосфором . – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня кандидата фізико-математичних наук за спеціальністю 01.04.07 – фізика твердого тіла.– Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича, Чернівці, 2004.

У роботі проведені комплексні Х - променеві дослідження структурних змін в приповерхневих шарах пористого кремнію після імплантації іонів фосфору (енергія Е= 180 КеВ, доза Q= 81014 іон/cм2). Визначено значення максимальних деформацій, протяжність областей пружних деформацій та характер їх змін. Відтворені товщинні розподіли деформацій і порушень в кремнії, генеровані імплантацією фосфором та іншими видами обробок, є досить складними і містять різнознакові деформації. Також розглянуто вплив комбінованої дії іонної імплантації фосфором та хімічного травлення на просторові розподіли інтенсивності, структурні властивості та фотолюмінесцентні характеристики кремнію в процесі природного старіння. Отримані дані свідчать про складний розподіл деформаційних полів по товщині кристалу, які еквівалентні мікродефектам, що об’єднані в кластери розмірами до кількох десятків мікрон з концентрацією порядка 104-105 см-3. На основі чисельного розв’язку системи рівнянь Такагі досліджено механізми та закономірності формування товщинних осциляцій інтенсивності у сильно деформованих зосередженою силою кристалів кремнію. Починаючи з певного рівня деформацій, при якому зміна ефективної розорієнтації дефекту більша від ширини кривої гойдання W, поширення Х - променів супроводжується процесами міжвіткової взаємодії.