Селиверстова Светлана Ростиславовна. Влияние технологии выращивания на микромеханические свойства эпитаксиальных структур на основе GaAs: Дис... канд. техн. наук: 05.27.06 / Херсонский гос. технический ун-т. - Херсон, 2000. - 140 л. - Библиогр.: л. 131-140.
|