Кузнецов Михаил Валерьянович. Высокопроизводительные системы ионного распыления с использованием контрагированной плазмы дугового и тлеющего разрядов, оборудование и технология получения покрытий : Дис... канд. техн. наук в форме науч. доклада: 05.03.06 / АН Украины. — К., 1991. — 20с. — Для сл. пользования..