Казаков Анатолий Иванович. Исследование устойчивости технологических процессов микроэлектроники и многокомпонентных полупроводниковых материалов : Дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / Одесский политехнический ин-т. — О., 1992. — 325л. : рис. — Библиогр.: л. 282-323.