Анотація до роботи:

Соболь О.В. Закономірності формування та еволюції нерівноважного структурного стану іонно-плазмових конденсатів. – Рукопис.

Дисертація на здобуття наукового ступеня доктора фізико-математичних наук за спецiальнiстю 01.04.07 – фізика твердого тіла. – Інститут металофізики ім. Г.В.Курдюмова НАН України, Київ, Україна, 2008.

Дисертація присвячена вирішенню проблеми фізики твердого тіла щодо встановлення механізмів формування структурно-фазового стану конденсованого матеріалу при нерівноважних умовах його осадження з іонно-плазмових потоків.

Встановлено, що різний структурний стан матеріалів (аморфноподібний, кристалічний метастабільних та стабільних фаз) може бути систематизований та описаний за єдиним механізмом конденсації при різному ступені нерівноважності процесу. Така нерівноважність обумовлена надшвидким охолодженням при термалізації конденсованих атомів, що обмежує їх поверхневу рухливість при осадженні.

Зменшення ступеню нерівноважності завдяки підвищенню температури осадження призводить до зміни структурного стану конденсата у послідовності: аморфноподібний – кристалічний перехідний (метастабільний) стан – кристалічний стан рівноважних a-фаз. Поява перехідного кристалiчного стану при конденсації є слідством формування високотемпературних -фаз для фаз проникнення, пересичення домішковими атомами з атмосфери робочого газу при осадженні металевих конденсатів або значного розширення області граничної розчинності у порівнянні з рівноважним станом для твердих розчинів.

В роботі обгрунтовано концепцію формування нерівноважного стану конденсатів як основи структурно-фазових перетворень. За ступенем складності елементного складу матеріалу виділені та розглянуті три характерних види впливу нерівноважного структурного стану іонно-плазмових конденсатів на структурно-фазові перетворення:

- перший, властивий конденсованому матеріалу, що формується при розпиленні металічної мішені, полягає в стимульованій нерівноважним структурним станом підвищеній дифузійній рухливості домішкових атомів атмосфери розпилення, які попадають у конденсат при осажденні;

- другий, характерний для конденсатів фаз проникнення, для яких наявність метастабільного структурного стану і, в першу чергу, нерівноважних вакансій у неметалевій підсистемі, стимулює фазові переходи;

третій, притаманний фазам проникнення, які утворені на основі твердого розчину в металевій підсистемі. Для цього класу матеріалів нерівноважний структурний стан при наявності надмірних вакансій у неметалевій підсистемі дає змогу протікати процесу концентраційного розшарування металевих атомів з утворенням модульованої структури конденсату.

Проведена аналогія між структурою та фізико-механічними властивостями нанокристалічного конденсату та матеріалу у передплавильному стані виявила наявність спільних закономірностей, притаманних цим станам.

Розглянуто вплив ієрархії структури іонно-плазмових конденсатів, що ускладнюється при переході від тугоплавкого металу до квазібінарних систем на його основі, на еволюцію механічних характеристик матеріалу. На основі структурного підходу сформульовані основні умови одержання іонно-плазмових конденсатів з високою та надвисокою твердістю.

У дисертаційній роботі встановленні закономірності формування та еволюціі нерівноважних структурних станів, метастабільних та стабільних фаз і фізико-механічні властивости конденсатів, одержаних іонним розпиленням тугоплавких матеріалів при підвищенні їх елементно-структурної ієрархії в ряду: перехідний метал карбідна та боридна фази проникнення на його основі квазібінарні карбідні і боридні системи. В результаті була вирішена важлива наукова проблема фізики твердого тіла щодо встановлення механізмів формування структурно-фазового стану конденсованого матеріалу при нерівноважних умовах його осадження з іонно-плазмових потоків.

Основними науковими і практичними результатами є такi:

1. Запропоновано механізм формування конденсату з іонно-плазмових потоків, який включає два основних процеси: приповерхневу імплантацію, що супроводжується атомним перемішуванням та розвитком деформації стиску для високоенергетичних частинок, які імплантуються, та конденсацію низькоенергетичних частинок, при якій з підвищенням температури осадження має мiсце утворення структурних станів у послiдовностi: аморфно-кластерний – кристалічний перехідний (метастабільний) стан – кристалічний стан рівноважних -фаз.

2. Встановлено, що перехідні кристалічні форми, що формуються при конденсації, властиві передплавильному стану. Для карбіду вольфрама це -WC фаза з решіткою типу NaCl, для бориду вольфрама це -WВ фаза з орторомбічною решіткою, а для квазібінарних систем це твердi розчини зi значно розширеною областю граничної розчинності у порівнянні з рівноважним станом.

3. У відповідності до структурного стану матеріалу конденсату запропоновано класифікацію впливу термічного фактору при осадженні з j_Ме = 10¹⁴…10¹⁶ см^-2с^-1 на: “слабке” (аморфно-кластерний стан), “середнє” (кристалічній стан з -метастабільною фазою), “сильне” (розвиток текстури) та “дуже сильне” (формування кристалічних стабільних -фаз). Визначені температурні інтервали таких впливів та оцінена поверхнева рухливость атомів при осадженні, яка забезпечує відповідний структурний стан. При «слабкому» впливі D_п < 10^-16 см²с^-1, для «середнього» –
10^-16 см²с^-1 < D_п < 10^-15 см²с^-1, для «сильного» впливу D_п (1…5)10^-15 см²с^-1 та для «дуже сильного» D_п > 510^-15 см²с^-1.

4. Запропоновано підхід для прогнозування аморфноподібного стану матеріалу конденсату при відносно високій температурі осадження 0,1...0,3Т_пл, в основі якого покладено відношення r_X/r_Me > 0,59.

5. Проведено порiвняння метастабільного нанокристалічного і аморфно-кластерного станів іонно-плазмових конденсатів та структурного стану матеріалу на стадії передплавлення та виділені спільні структурні риси та фізичні властивості (збільшення коефіцієнту дифузії та коефіцієнту термічного розширення і зменшення модуля пружності). Доведено, що відмінності, які з'являються у конденсованому матеріалі, пов'язані з легуванням його домішковимі атомами робочої та залишкової атмосфери, а також з імплантацією високоенергетичних частинок та розвитком конденсаційних напружень.

6. При дослідженні іонно-плазмових конденсатів вольфраму встановлено можливість низькотемпературного легування конденсатів легкими домішковимі атомамі робочої атмосфери до рівня, що значно перевищує їх розчинність у рівноважному стані. Для пояснення двофазного стану, який спостерігається в конденсатах вольфраму, запропонована модель, за якою під дією деформації стиску, що розвивається в процесі осадження (внаслідок імплантації власних і домішкових атомів), у площині зростання плівки відбувається витіснення домішкових атомів з об’єму a-W кристалітів та локалізація їх в області формування текстурованих b-W кристалітів зі збільшеним питомим об’ємом, який приходиться на один атом вольфраму. Визначено, що найбільший внесок у створення напружень стиску при конденсації вносять відбиті від мішені високоенергетичні атоми інертних газів, що розпилюють (Ar, Xe).

7. Осадження з іонно-плазмових потоків конденсатів карбіду вольфрама призводить до формування при Т_к = 300...800К високотемпературної b-WC фази. Структура конденсатів з b-WC карбіду вольфрама, одержаних при густині потоку металевих частинок j_Me 1,210¹⁵ см^-2с^-1, є нанокристалічною з розміром кристалітів 5…8 нм, які мають переважну орієнтацію [111] на стадії зародкоутворення і доповнені другою орієнтацією [100] у процесі зростання конденсату до мікронної товщини. Проникнення у решітку b-WC фази частинок з газової атмосфери і власних атомів призводить до збільшення періоду решітки і розвитку деформації стиску, величина якої не перевищує –0,7 %. Наведені особливості структури визначають прямий перехід b-WC фази у рівноважну a- WC фазу при температурах 950…1000 К.

Іншим шляхом виходу з метастабільного стану конденсованого матеріалу та стабілізацiї рiвноважної a-WC фази є створення високої густини радіаційних ушкоджень при конденсації за рахунок підвищення середньої енергії розпилення до кілоелектронвольтних значень.

8. Встановлено, що у конденсатах дибориду вольфраму, для якого співвідношення атомних радіусів металоіда к металу перевищує число Хегга, при осадженні з іонно-плазмових потоків стимулюється формування аморфноподібно-кластерного структурного стану. При температурах конденсації Т_к> 900 К, відбувається створення аморфно-нанокристалічного структурного стану, у якому нанокристаліти бориду вольфрама відповідають нижчим за вмістом атомів бору фазам порівняно з матеріалом, що розпилюється. Утворення при конденсації нижчих фаз боридів обумовлено зменшенням відносної концентрації атомів бору у плівці при її формуванні внаслідок дії фізико-хімічних і радіаційно стимульованих процесів при осадженні. Відпал конденсатів в інтервалі 1370...1500 К призводить до переважного формування кристалітів -W₂B фази з ізольованим розташуванням атомів бору у тетраедричних пустотах тетрагональної решітки з атомів вольфраму, що відповідає для боридів вольфраму найбільш сильному Ме-Ме зв’язку.

9. Визначено, що у температурному інтервалі Т_к =350…800К формування конденсатів (W,Ti)C – твердого розчину спостерігається початкова стадія концентраційного розшарування, що проходить без формування двофазного стану з некогерентною границею. Такий процес має ознаки розшарування за спінодальним типом з формуванням модульованої структури. Концентраційне розшарування металевих атомів з формуванням модульованої структури стає можливим при наявності надмірних вакансій у неметалевій підсистемі. При Т_к > 1050 К і співвідношенні атомів Ti/W 0,25 внаслідок розпаду (W, Ti)C-твердого розчину при осадженні формується багатофазний конденсат, що складається з WC та TiC фаз, а також з нижчих за вмістом вуглеця карбідів вольфраму. Підвищення відносного вмісту атомів титану у конденсаті до Ti/W 0,35 дозволяє збільшити верхню границю температурної стабільності однофазного ((W, Ti)C-твердий розчин) стану до 1200 К. При формуванні однофазного твердого розчину розмір кристалітів з підвищенням температури конденсації збільшується, а величина мікродеформації – зменшується. Проведена оцінка коефіцієнта термічного розширення конденсатів квазібінарної WC-TiC системи показала його збільшення в 1,5…1,8 рази у порівнянні з масивним станом.

10. У конденсатах квазібінарної боридної системи W₂B₅ - TiB₂ з урахуванням структурних особливостей виділено три концентраційних інтервали. Перший з них відповідає концентраційному інтервалу гранично можливого у рівноважних умовах розчинення W₂B₅ в TiB₂ решітці (менш за 62 мол.% W₂B₅ в TiB₂). Для цього інтервалу характерне формування (Ti,W)B₂ кристалітів з переважною орієнтацією площини (00.1) паралельно поверхні росту, розвиток у конденсатах жорстко пов’язаної з підкладкою високої макродеформації стиску у площині росту. Підвищення температури конденсації у цьому концентраційному інтервалі призводить до зростання ступеню досконалості текстури та супроводжується: ростом кристалітів і зменшенням мікродеформації. Особливістю другого концентраційного інтервалу (63…85 мол.% W₂B₅ в TiB₂) є зменшення розміру формуємих в конденсатах нанокристалітів пересиченого (Ti,W)B₂ твердого розчину, та поява біаксіальної текстури. Третій концентраційний інтервал (більш 85 мол.% W₂B₅ в TiB₂) характеризується появою другої, збідненої за атомами бору, нанодисперсної (розмір кристалітів 3...5 нм) фази - WB, яка знаходиться під дією макродеформації розтягу.

11. Виявлено температурний інтервал (350...800 К) формування модульованої структури з довжиною концентраційної хвилі 3,7...4,0 нм у конденсатах пересиченого (W,Ti)B₂ твердого розчину. Встановлено, що концентраційне упорядкування при Т_к < 750 К має відносно однорідний об'ємний розподіл для різних напрямків у конденсаті. Перехід від формування об'ємномодульованих структур при Т_к < 750 К до одномірномодульованих здійснюється при 950 К < Т_к < 1250 К. Проведений розрахунок коефіцієнтів дифузії у Ti-W металевій підрешітці при формуванні модульованої структури показав, що при тривалому (годинному) часі вакуумного відпалу у температурному інтервалі 350…850 К значення коефіцієнтів дифузії D знаходяться у межах 10^-20…10^-19 см²/c. Коефіцієнт дифузії у початковий період часу відпалу нерівноважної структури конденсату підвищується на порядок та досягає величини 10^-19…10^-18 см²/c, наближаючись за цими значеннями до величини D при аналогічних температурах упорядкування структури у процесі конденсації.

12. Розглянуто вплив ієрархії структури іонно-плазмових конденсатів, що ускладнюється по мірі переходу від металевого вольфраму до квазібінарних систем на його основі, на еволюцію механічних характеристик матеріалу. Встановлено, що для одержання конденсатів з надвисокою твердістю необхідними умовами є знаходження розміру кристалітів у діапазоні 10…15 нм, щільноупакований тип решітці кристалітів та створення модульованої структури на основі розшарування у металевої підрешітці твердого розчину.

13. Шляхом побудови діаграм метастабільного фазового складу матеріалів квазібінарних WB₂-TiB₂ та WC-TiC систем у конденсованому з іонно-плазмових потоків нерівноважному стані встановлено, що головними відмінностями таких діаграм від рівноважних є: значне розширення області існування твердих розчинів як за складом, так і за температурою, поява областей їх концентрційного розшарування та утворення при високих температурах нижчих за елементами проникнення фаз.

СПИСОК ОСНОВНИХ ПУБЛІКАЦІЙ ЗДОБУВАЧА ЗА ТЕМОЮ ДИСЕРТАЦІЙНОЇ РОБОТИ

1. Шпак А.П. Кластерные и наноструктурные материалы Т.3. Пористость как особое состояние самоорганизованной структуры в твердотельных наноматериалах / Шпак А. П., Черемской П. Г., Куницкий Ю. А., Соболь О.В. – К. : Академпериодика, 2005. – 516 с.

2. О связи между структурой и прочностью многослойных композиций / А. И. Ильинский, А. А. Подтележников, Ю. М. Шмигарев, О. В. Соболь // Физика металлов и металловедение. – 1987. – Т. 63, № 4. – С. 816–820.

3. О рекристаллизации слоистых пленочных материалов / А. И. Ильинський, Я. М. Кулиш, О. В. Соболь, И. Ю. Столярова, Ю. М. Шмигарев // Физика металлов и металловедение. – 1988. – Т. 65, № 4. – С. 1182–1185.

4. Роль поправки на преломление и поглощение в прецизионном определении параметров структуры ионно-плазменных конденсатов / А. А. Козьма, В. И. Пинегин, О. В. Соболь, Е. А. Фронтова // Заводская лаборатория. Диагностика материалов. – 1997. – Т. 63, № 6.– С. 33–37.

5. Особенности фазообразования в вольфрамових пленках, осаждаемых методами ионно-плазменного распыления / А. А. Козьма, С. В. Малыхин, О. В. Соболь, С. С. Борисова // Физика и химия обработки материалов. – 1998. – № 3.– С. 49–55.

6. The effect of ion-plasma sputtering regimes on structure formation in tungsten – carbon coatings / A. A. Koz’ma, O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, S. V. Malykhin, S. S. Borisova, A. A. Podtelezhnikov // Functional material. – 1999. – Vol. 6, № 2. – P. 267–273.

7. Козьма А. А. Особенности термической стабильности структуры слоев, полученных магнетронным распылением карбида вольфрама / А. А. Козьма, О. В. Соболь, Е. А. Соболь // Вiсник Харкiвського державного унiверситету. Cерія Фiзика. – 1999. – Вып. 3, № 440. – С. 149–154.

8. Sobol’ O. V. Peculiarities of texture formation in coatings obtained from ion-plasma beams / O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, A. A. Podtelezhnikov // Functional materials. – 1999. – Vol. 6, № 5. – P. 868–876.

9. Козьма А. А. Структура и напряженное состояние покрытий, полученных распылением карбида вольфрама в тлеющем разряде / А. А. Козьма, С. В. Малихин, О.В. Соболь // Физика металлов и металловедение. – 1999. – Т. 87, № 3. – С. 30–33.

10. The use of triode sputtering scheme for preparation of refractory metal carbide coatings / O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, A. A. Podtelezhnikov, S. T. Roshchenko // Functional materials. – 2000. – Vol. 7, № 2. – P. 305–310.

11. Соболь О. В. Влияние режимов магнетронного распыления вольфрама на состав, структуру и напряженное состояние конденсированных покрытий / О. В. Соболь, Е. А. Соболь // Вiсник Харкiвського нацiонального унiверситету. Cерія Фiзика. – 2000. – Вып. 4, № 476. – С. 176–183.

12. Соболь O. В. Фазовый состав, структура и напряженное состояние вольфрамовых слоев, формируемых из ионно-плазменных потоков / О.В. Соболь // Физика металлов и металловедение. – 2001. - Т.91, № 1. - С.63-71

13. Koz’ma A. A. Effect of the ion-plasma sputtering conditions on the phase composition and structure of boron nitride films / A. A. Koz’ma, O. V. Sobol’, E. A. Sobol’ // Functional Materials. – 2001. – Vol. 8, № 2. – Р. 314–317 .

14. Соболь О. В. Влияние структурного состояния карбида вольфрама на его упругие характеристики в различных кристаллографических направлениях / О. В. Соболь // Вестник Национального технического университета «ХПИ» : сборник научн. трудов. – Х. – 2001. – № 4. – C. 249–252.

15. On the mechanism of -WC- -W₂C transformation under annealing in magnetron-sputtering tungsten carbide films / O. V. Sobol, E. A. Sobol, L. I. Gladkikh, A. N. Gladkikh // Functional Materials. – 2002. – Vol .9, № 3. – Р. 486–490.

16. Determination of mass fraction of light elements in crystalline materials by the Compton-to-Rayleigh scattering intensity ratio / І. F. Mikhailov, O. V. Sobol, V. V. Varganov, L. P. Fomina // Functional Materials. – 2002. – Vol. 9, № 4. – Р. 651 – 656.

17. Особенности фазового состава, структуры, напряженного состояния и механических характеристик конденсатов боридной системы W-Ti-B, полученных триодным распылением / О. В. Соболь, С. Н. Дуб, О. Н. Григорьев, А. Н. Стеценко, А. А. Подтележников // Сверхтвердые материалы. – 2005. – № 5. – С. 38–47.

18. Peculiarities of Structure State and Mechanical Characteristics in ion-Plasma Condensates of Quasibinary System Borides W₂B₅-TiB₂ / O. V. Sobol, O. N. Grigorjev, Yu. A. Kunitsky, S. N. Dub, A. A. Podtelezhnikov, A. N. Stetsenko // Science of Sintering. – 2006. – Vol. 38. – P. 63–72.

19. Соболь О. В. Исследование процесса упорядочения структуры в конденсированных нанокристаллических покрытиях квазибинарной системы W₂B₅-TiB₂ / О. В. Соболь, П. Г. Черемской, А. Н. Стеценко // Вісник ХНУ, № 739. Серія Фізика. – 2006. – Вип. 9. – С. 124–129.

20. Structure influence on mechanical properties of Ti-W-B system nano-crystalline coatings / O. V. Sobol, S. N. Dub, O. N. Grigorjev, A. A. Podtelezhnikov, A. N. Stetsenko // Functional Materials. – 2006. – Vol. 13, № 1. – P. 105–112.

21. Sobol O. V. Influence of deposition condition and annealing temperature on phase composition and structure of W-B system ion-plasma condensates / O. V. Sobol // Functional Materials. – 2006. – Vol. 13, № 3. – P. 387–392.

22. Применение метода малоуглового рентгеновского рассеяния для исследования кинетики упорядочения в наноструктурных конденсатах / А. П. Шпак, О. В. Соболь, П. Г. Черемской, Ю. А. Куницкий, А. Н. Стеценко // Наносистеми. Наноматеріали. Нанотехнології. – 2006. – Т. 4, № 2. – С. 373–388.

23. Sobol O. V. Phase composition, structure and stress state of magnetron sputtered W-Ti condensates / O. V. Sobol // Functional Materials. – 2006.– Vol. 13, № 4. – P. 577 – 583.

24. Соболь О. В. Фазовый состав, структура, субструктурные характеристики и макродеформированное состояние ионно-плазменных нанокристаллических конденсатов квазибинарной TiB₂-W₂B₅ системы / О. В. Соболь //Наносистеми. Наноматеріали. Нанотехнології. – 2006. – Т. 4, № 3. – С. 707–727.

25. Соболь О. В. Концентрационно-структурное упорядочение в нанокристаллических ионно-плазменных конденсатах (W,Ti)C твердого раствора / О. В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. – 2007. – Т. 5, № 1–2. – С. 69 –74.

26. Соболь О. В. Процесс наноструктурного упорядочения в конденсатах системы W-Ti-B / О. В. Соболь // Физика твердого тела. – 2007. – Т. 49, Вып. 6. – С. 1104–1110.

27. SobolO. V. Study of concentration and structural ordering in nano-crystalline ion-plasma condensates of (W, Ti)C solid solution / O. V. Sobol// Functional Materials. – 2007. – Vol. 14, № 3. – P. 392–397.

28. Соболь О. В. Структура, субструктурные характеристики и напряженное состояние нанокристаллических ионно-плазменных конденсатов квазибинарной карбидной системы WC-TiC / O. В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. –2007. – Т. 5, № 1–2. – С. 101–109.

29. Sobol’ O. V. Thermal factor effect on phase formation, structure, substructure features, and stress state in ion-plasma nano-crystalline condensates of quasi-binary carbide WС-TiC / O. V. Sobol’ // Functional Materials. – 2007. – Vol. 14, № 4. – P. 436 –445.

30. Соболь О. В. Влияние термического и радиационного факторов на формирование модулированной структуры конденсатов квазибинарной боридной системы TiB₂-W₂B₅ / О. В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. – 2007.–Т. 5, № 3–4. – С. 165–171.

31. Кинетика упорядочения в наноструктурных конденсатах квазибинарной системы W₂B₅-TiB₂ / А. П. Шпак, О. В. Соболь, Ю. А. Куницкий, М. Ю. Барабаш, Д. С. Леонов, Я. А. Нечитайло // Наносистеми. Наноматеріали. Нанотехнології. – 2008. – Т. 6, № 1. – С. 331–336.

32. Соболь О. В. Механизм формирования фазово-структурного состояния конденсатов, полученных ионным распылением / О. В. Соболь // Физическая инженерия поверхности. – 2008. – Т. 6, № 1–2. – С. 20–36.

33. Процеси впорядкування в іонно-плазмових конденсатах систем W-Ti-B та W-Ti-C / О.В. Соболь, Ю.А. Куницький, М.Ю. Барабаш, Я.А. Нечитайло, Л.Г. Дзюба // Фізика і хімія твердого тіла. – 2008. – Т.9, №3. –С.515-519.

34. Влияние радиационного фактора на формирование структуры и напряженного состояния конденсатов, полученных ионным распылением тугоплавких материалов Ti-W-B системы / А. П. Шпак, О. В. Соболь, Ю. А. Куницкий, М. Ю. Барабаш // Порошковая металлургия. – 2008. – № 1/2. – С. 72–83.

35. Закономерности формирования неравновесной структуры ионно-плазменных конденсатов квазибинарных карбидных и боридных систем / А. П. Шпак, О. В. Соболь, В. А. Татаренко, Ю. А. Куницкий, М. Ю. Барабаш, Д. С. Леонов, В. А. Дементьев // Металлофиз. и новейшие технологии. – 2008. – Т. 30, № 4. – С. 525–535.

36. Структура и термическая стабильность WC диффузионных барьерных слоев / О. В. Соболь, А. А. Козьма, В. В. Кондратенко, С. А. Юлин // Фізика і технологія тонких плівок складних напівпровідників : V-а українська конф., 24–26 червня 1992 р. : матеріали доп. – Ужгород, 1992. – С. 189–191.

37. Структура и физико-механические характеристики WC покрытий, полученных методом магнетронного распыления / О. В. Соболь, А. А. Козьма, В. В. Кондратенко, С. А. Юлин // New Leading-edge thechnologies in machinebilding : Procledings international conference, 18–20 September 1992. – Rubachi, 1992. – Р. 186–189.

38. Application of X-Ray Low-angle Scattering (XRLAS) Technique in the Study of Fractal Structures in Porous Composite and Condensed Structures / P. Cheremskoy, L. Skatkov, О. Sobol, E. Sobol, А. Panikarski // Applications of Surface and Interface Analysis : 9^th European Conference, 30 September – 5 October 2001 : Book of Abstracts. – Avignon, France, 2001. – P. 382.

39. The influence of particle flux density and substrate temperature on texture formation in tungsten carbide ion-plasma condensates / L. I. Gladkikh, O.V. Sobol’, E. A. Sobol’, A. A. Podtelezhnokov // Abstracts of MRS 2001, 16–20 April 2001. – San Francisco, USA, 2001. – P. 274–275.

40. Роль термического и радиационного факторов при формировании структуры ионно-плазменных конденсатов карбида вольфрама / О. В. Соболь, А. А. Подтележников, А. С. Паникарский, А. А. Сокол, С. С. Борисова, И. М. Короткова // Вакуумные технологии и оборудование ICVTE-5. Харьковская научная ассамблея : 5-я междунар. конф., 22–27 апреля 2002 г. : сборник докл. – Х., 2002. – С. 136–139.

41. Соболь О. В. Об общности структуры ионно-плазменных конденсатов фаз внедрения со слоистой упаковкой атомов / О. В. Соболь // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов : 5-я междунар. конф., 27 сентября – 1 октября 2004 г. : сборник докл. – Х., 2004. – Т. 2. – С. 241–246.

42. Соболь О. В. Самоорганизационные процессы в конденсированных наносистемах / О. В. Соболь // Физические явления в твердых телах: VII междунар. конф., 14–15 декабря 2005 г. : материалы докл. – Х., 2005. – C. 45.

43. Соболь О. В. Влияние радиационного фактора на формирование структуры и напряженного состояния ионно-плазменных конденсатов / О. В. Соболь // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов : 6-я междунар. конф., 16–20 мая 2005 г. : сборник докл. – Х., 2005. – Т. 2. – С. 209–212.

44. Соболь О. В. Особенности формирования структуры ионно-плазменных конденсатов в кластерном и нанокристаллическом состояниях / О. В. Соболь // Оборудование и технологии термической обработки металлов и сплавов : 7-я междунар. конф., 24–28 апреля 2006 г. : сборник докл. – Х., 2006. – Т. 3. – С. 72–80.

45. Соболь О. В. Использование процесса самоорганизации для создания сверхтвердых ионно-плазменных конденсатов с модулированной наноструктурой / О. В. Соболь // Опто-, наноэлектроника, нанотехнологии и микросистемы : VIII междунар. конф., 26–30 июня 2006 г. : сборник трудов. – Ульяновск, 2006. – С. 41.

46. Соболь О. В. Особенности изучения структуры и напряженного состояния ионно-плазменных нанокристаллических конденсатов методом рентгеновской дифрактометрии / О. В. Соболь // Вакуумные нанотехнологии и оборудование. Харьковская нанотехнологическая Ассамблея, 2–6 октября 2006 г. : сборник докл. – Х., 2006. – Т. 1. – С. 260–266.

47. Соболь О. В. Влияние термического фактора на фазовый состав, структуру, напряженное состояние и динамику концентрационно-структурного упорядочения в нанокристаллических конденсатах квазибинарной карбидной системы WC-TiC / О. В. Соболь // Физико-химические основы формирования и модификации микро- и наноструктур : междунар. научн. конф., 10–12 октября 2007 г. : сборник научн. трудов. – Х., 2007. – С. 17–19.

48. Соболь О. В. Концентрационно-структурное упорядочение в конденсатах W-Ti-B и W-Ti-C систем / О. В. Соболь // Наноструктурные материалы. Харьковская нанотехнологическая Ассамблея, 23–27 апреля 2007 г. : сборник докл. – Х., 2007. – Т. 1. – С. 56–64.

49. Соболь О. В. Закономерности формирования структуры, субструктуры и напряженного состояния ионно-плазменных конденсатов тугоплавких материалов на основе вольфрама / О. В. Соболь // Фiзичнi явища в твердих тiлах : 8-а мiжнар. конф., 11–13 грудня 2007 р. : збірник матеріалів. – Х., 2007. – С. 71.

50. Соболь О. В. Закономерности формирования наноструктуры ионно-плазменных конденсатов / О. В. Соболь // Наноструктурные материалы Харьковская нанотехнологическая Ассамблея, 26–30 мая 2008 г. : сборник докл. – Х., 2008. – Т. 1. – С. 34–37.